技术编号:6923897
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及适合于显示器装置的制造等的必须清洁环境的工序的输送系统。背景技术液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、电致发光显示器(ELD)等的显示器装置 的制造,需要避免微小的灰尘或附着水分,需要清洁环境。不仅在各工序中,即使在连接各 工序之间的输送装置中,也希望实现清洁环境。 通常,为了实现这种清洁环境,利用无尘室。无尘室典型的是具备顶棚,具有内部能够流通空气的室;具有相同室的地板;连通两个室并使空气回流、关闭的管道。而且,无尘室具备利用了从空气除...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。