技术编号：6924322
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。具有ARC层打开的线宽粗糙度控制交叉引用根据35U. S. C. § 119(e)，本申请声明申请号为 60/975，751，名称为 “LINE WIDTH ROUGHNESS CONTROL WITH ARC LAYEROPEN，，，提交日为 2007 年 9 月 27 日，以 Chi 等人为发 明 人的美国临时申请的优先权，为所有目的将其内容通过参考并入此处。背景技术本发明涉及在半导体器件生产过程中透过掩模蚀刻蚀刻层，更准确地说，本发明 涉及半导体器件...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。