技术编号：6924559
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及薄膜形成设备和方法。具体而言，本发明涉及用于在薄膜形成过 程中片材引导和/或片材冷却的装置和方法。更具体地，本发明涉及用于在薄膜太阳能电 池的生产过程中片材引导的装置和方法。背景技术在用于在诸如生产薄膜太阳能电池中涂覆片材的设备和方法中，必须引导片材。 这是由于这样的情况必须改变片材的移动方向。引导片材的另一可行的应用是涂覆片材 的前侧，并且必须支撑片材的后侧。对于这些情况和其他应用，公知提供允许改变片材的移 动方向和/或者支撑片材的辊子和鼓...
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