技术编号：6924630
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及，特别详细地讲，涉及具有膜片的压力传感 器及其制造方法。背景技术由于利用半导体的压电电阻效应的压力传感器是小型、轻量、高灵敏度的，所以广 泛应用于工业测量、医疗等领域中。这种压力传感器中，在半导体膜片上形成有应变片。通 过施加在膜片上的压力来使应变片产生变形。检测因压电电阻效应产生的应变片的电阻变 化，来测定压力。此外，为了缓和来自封装的应力，在玻璃等底座上接合形成有膜片的传感 器芯片(专利文献1)。膜片是通过将半导体晶片利用蚀刻进行深挖(掘&g...
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