技术编号:6925007
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。小型气柜本发明涉及一种在特殊的和隔离的应用中使用以分配特殊气 体(ESG)的装置,所 述应用在硅工业中发生,更具体地在微电子、光电、光电子或半导体工业中发生。本发明的 装置也可以用于使用气体、例如有毒或易燃气体的实验室,尤其是与硅工业相关的实验室。许多工业设施需要具备能够自动控制气体和流体到特定设备的供应的设备。一般 来说,集成电路的制造包括若干工序,例如汽相沉积工序,在所述工序中多种气体被传输到 封闭有半导体基底的反应室中。需要仔细控制该空间中的温度和压...
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