技术编号:6925096
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于将加工对象物研磨成规定的厚度的。 背景技术作为现有的,已知是通过对板状的加工对象物的内部照射激 光,从而将加工对象物的外缘部除去,并在除去外缘部之后对加工对象物的主面进行研磨 (例如,参照专利文献1)。在这样的中,谋求防止在加工对象物的外缘 产生刀痕(knife edge)。专利文献1 日本特开2006-108532号公报 发明内容发明所要解决的问题然而,在上述那样的中,在对加工对象物进行研磨时,若在 加工对象物的外缘部产生割裂,则该割裂会向...
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