技术编号:6925600
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。背景技术在半导体基片(例如,晶片)的处理中,往往采用等离子。在等离子处理,使用等 离子处理系统处理该晶片,其通常包括多个处理模块。该基片(例如,晶片)在等离子处理 过程中设在处理模块内的卡盘上。为了将晶片移进移出该处理模块,通常将晶片设在末端执行器上并传送到卡盘 上。末端执行器是用于在晶片传送过程中支撑该晶片的结构部件。末端执行器通常设在机 械臂上。图1示出代表性的现有末端执行器102,用以在晶片传送过程中支撑晶片104。为 了说明目的,还示出机械臂106...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。