技术编号：6925623

提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种处理基板的系统与技术，且尤其涉及一种形成基板结晶相 (substrate crystalline phase)的系统与技术。背景技术目前普遍采用的新兴技术，如平板显示器(flat panel display，FPD)与太阳能电 池(solar cell)，皆取决于在低成本基板上制造电子元件的能力。在制造FPD时，典型的低 成本 FPD 的像素(pixel)由薄膜晶体管(thin film transistor, TFT)来转换(switch)...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

该分类下的技术专家--如需求助专家，请联系客服（仅向企业会员开放）

• 贺老师：氮化物陶瓷、光功能晶体材料及燃烧合成制备科学及工程应用
• 杨老师：工程电磁场与磁技术，无线电能传输技术
• 许老师：1.气动光学成像用于精确制导 2.人工智能方法用于数据处理、预测 3.故障诊断和健康管理
• 王老师：智能控制理论及应用；机器人控制技术
• 李老师：1.自旋电子学 2.铁磁共振、电磁场理论
• 宁老师：1.固体物理 2.半导体照明光源光学设计实践 3.半导体器件封装实践
• 杨老师：1.大型电力变压器内绝缘老化机理及寿命预测 2.局部放电在线监测及模式识别 3.电力设备在线监测及故障诊断 4.绝缘材料的改性技术及新型绝缘材料的研究
• 王老师：1.无线电能传输技术 2.大功率电力电子变换及其控制技术