技术编号:6925633
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例涉及可用于将大型衬底或衬底,例如可作为轧制商品出售的膜图 案化的纳米图案化方法。本发明的其它实施例涉及可用来将衬底图案化的设备,并且该设 备可用来执行方法实施例,其中包括描述的方法实施例。背景技术该节描述了涉及本发明的公开实施例的背景主题。没有意图,表示或暗示该节中 描述的背景技术在法律上构成现有技术的意图。纳米结构化(nanostructuring)对许多现在的应用和产业是必需的,并且对正在 发展的新技术是必需的。例如且不作为限制,可以为在...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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