技术编号：6926055
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种测试系统及探针装置。本发明尤其涉及测试在半导体晶片形成 的多个半导体芯片的测试装置，以及与半导体晶片上形成的多个半导体芯片电连接的探 针装置。背景技术已知有一种在对半导体晶片上形成的半导体芯片进行检查时，使用收纳该半导 体晶片的半导体晶片收纳器的检测方法(比如参照专利文献1)。该半导体晶片收纳器， 由用于保持半导体晶片的保持板、设置了与半导体芯片的端子连接的探针的线路板以及 用于密闭保持板及线路板之间的密封材料形成。并且，通过在密闭空间减压，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。