薄膜光电转换元件和薄膜光电转换元件的制造方法技术资料下载

技术编号:6926277

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本发明涉及薄膜型的,更详细地,涉及在元件的表面产生光生载流子的。背景技术用于光学传感器或太阳能电池的光电转换元件大多使用Si或GaAs等的半导体结晶,需要精密的掺杂控制、pn结或肖特基的界面控制、微结构形成技术。此外,用作太阳能电池的光电转换元件大多是形成于Si基板上的pn结型的光电转换元件,由于Si的带隙使得受限于波长为1. 2 μ m以下的太阳光,主要对0. 8 μ m以下的可见光进行光电转换。另一方面,对于用作光学传感器用途的光电转换元件来说,自60...
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