集成电路及封装、半导体装置以及测试电路的方法技术资料下载

技术编号:6926397

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本发明是有关于电子集成电路测试,特别是集成电路在晶圓级 测试和封装级测试的电^各和方法。背景技术现有的集成电路(IC)封装在制造上的相关测试包含芯片探针 (Chip-Probe, CP)观'H式禾口最乡冬观'H式(Final Testing, FT)。图12表示由 空白晶圓制造集成电路封装成品的流程的示意图。 一 个空白晶圓经 由集成电^各制程处理,例如显影(lithography),扩散(diffusion),蚀 刻(etching),沉积(deposi...
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