可变电容器、匹配电路元件和移动终端设备的制作方法技术资料下载

技术编号:6927235

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本发明涉及可变电容元件(可变电容器),更具体而言,涉及用微电 子机械系统(MEMS)技术制造的可变电容器、使用可变电容器的匹配电 路元件和使用可变电容器或者匹配电路元件的移动终端设备。背景技术可变电容器是在诸如变频振荡器、调谐放大器、移相器和阻抗匹配电 路的电路中重要的元件。近年来,安装了可变电容器的移动终端设备的数 量已经增大。在移动终端设备的,随着安装元件等的数量增大, 为了高性能,对所用元件的小型化的需求也增大。响应于此需求,使用 MEMS技术致力于...
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