技术编号:6927445
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种晶圆输送设备。特别是一种对标准机械界面(Standard Mechanical Interface,简称SMIF)晶圆盒进行载入载出操作的结构设计合理,在制程间传输运行平 稳,实现随意旋转的晶圆匣180度反向置放动作更灵活可靠,拓展了适用范围的旋转式晶圆自动传输装置。 背景技术目前,在半导体的制造过程中,晶圆输送对IC制造至关重要。为了确保晶圆在不同 的制程间运送时的品质,避免晶圆受到尘粒或其它污染,越来越多的运送工作采用标准的 运送容器,即...
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