一种具有新型复合堆叠式阻挡层金属结构的垂直发光二极管及其制备方法技术资料下载

技术编号:6927534

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本发明涉及一种GaN基垂直发光二极管,特别是。背景技术目前大多数的GaN基外延主要是生长在蓝宝石衬底上,由于蓝宝石导电性能差,普通的GaN基发光器件采用横向结构,即两个电极在器件的同一侧,电流在n-GaN层中横向流动不等的距离,存在电流堵塞,产生热量;另外,蓝宝石衬底的导热性能低,因此限制了GaN基器件的发光功率及效率。将蓝宝石衬底去除,并将发光器件做成垂直结构可以有效解决散热、出光以及抗静电等问题。对于垂直发光二极管,有源层向下发射的光经P型外延接触金属...
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