技术编号：6927911
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及硅片切割，具体为一种改良的硅片切割液的冷却装置。(二) 背景技术在半导体行业和太阳能行业，硅棒加工成硅片多使用多线切割机，多线切 割机的切割线使用表面镀铜的不锈钢丝，在切割过程中切割液由喷嘴沿着钢丝 流动，由钢丝把切割液带入切割区域，钢丝表面的游离磨料在钢丝的压力和速 度的带动下进行硅片的切割。切削后的切割液流入砂浆桶再循环使用。切割过 程中产生大量热量，切削后的切割液温度升高，硅片切割过程中对切削液的温 度有严格要求，因此切割液必须冷却后再循环...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。