技术编号:6927931
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。Zn0绒面导电玻璃是实现光伏建筑一体化的关键材料,是提高硅薄膜太阳能光伏电池转换 率的重要前提。ZnO绒面透明导电玻璃及其制备生产线属于薄膜太阳能光伏电池领域。背景技术溅射工艺制备绒面ZnO透明导电膜的方法有二 一是先用溅射工艺在玻璃上镀光滑面的ZnO 薄膜,然后离线用酸腐蚀的方法形成绒面;二是在高的基片温度和高的溅射气压环境下沉积ZnO 薄膜,缺点是产生的绒面形貌不稳定、且沉积时间太长。到目前为止,还没有一种一体化连续 生产绒面ZnO透明导电镀膜玻璃生产...
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