技术编号:6928728
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体工艺过程中的精确位置调节装置,尤其涉及一种在 薄膜半导体生产线上真空室内的精确位置调节装置及具有该装置的半导体在线 -险测系统。背景技术近年来薄膜半导体市场蓬勃发展,使薄膜半导体应用领域逐渐深入,其趋势朝向大面积扩展,如采用玻璃基板的薄膜太阳能电池器件以发展为1100mmx 1400mm尺寸为普遍尺寸,再有有机发光显示器件(OLED)面板也由传统手机 屏到大面积的电视、便携电脑显示屏的应用扩展,其尺寸也达到了 370 mmx 470mm...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。