技术编号：6929095
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路制造领域，尤其涉及。背景技术闪存是一种常见的集成电路存储器件，属于一种非易失性存储器，被广泛的应用 于各种场合。非易失性存储器的特点是在工作电压消失的情况下，存储器仍然可以较长时 间的保存数据而不会丢失。分离栅(Split-Gate)闪存与堆栈-栅闪存器件是两种常见的闪存器件。同堆栈 栅闪存器件相比较，分离栅闪存的优点在于体积小、功耗低。关于分离栅闪存的制造方法可 以参考美国专利US6538277中叙述的内容。典型的闪存芯片包括存储单元和...
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