技术编号:6929745
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路电容器制造领域,且特别涉及一种金属-绝缘体-金属电容 器的制造方法。背景技术电容器常用于如射频IC(RFIC)或者单片微波IC(MMIC)等集成电路中作为电子 无源元件。随着集成电路技术的发展,电容器作为集成电路中必要元件之一,在电路中 扮演电压调整、滤波等功能,因此电容器已成为重要的集成电路电子元件。在半导体集 成电路中,常见的电容器类型有多晶硅-绝缘体_多晶硅电容器、金属_绝缘体-金属 (metal-insulator-metal, ...
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