形成相变材料的装置以及制造相变存储器的系统的制作方法技术资料下载

技术编号:6929752

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本发明涉及半导体存储技术,尤其是相变存储技术。 背景技术相变材料结构状态的改变将伴随着电阻的变化,所述电阻可以在很大范围内发生 变化,其变化幅度可以达到多个数量级。基于上述原理,现有技术中存在采用相变材料制成 的相变存储器。相变存储器在工作时,通过从外部施加条件,使相变材料在不同的结构状态 之间进行可逆转换,导致相变材料导电性能发生相应的改变,从而实现数据的读写操作。例 如,当相变材料处于结晶状态时,其表现为电导体,电阻较低,此时相变存储器赋值为“0” ;...
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