技术编号:6930750
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在加速度传感器、角加速度传感器、静电传动器等中使用的半导体微器件。背景技术图7是示出现有的半导体微器件70的结构的剖面图。半导体微器件70以实现规定的功能、工作的方式而被封装。半导体微器件70在封装体的内部的管芯底座13上具备2种芯片。具体地说,芯片是在芯片基板74上设置的微结构体芯片71和用于特定用途的IC芯片(以下,称为「ASIC」(专用集成电路))72。可根据半导体微器件70的使用目的适当地选择这些芯片。导电性地连接了微结构体芯片71与芯片...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。