技术编号：6930872
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及控制，具体而言，涉及一种具有故障诊断功能的控制系统及 方法。背景技术随着电子技术的高速发展，人们对集成电路的集成度要求越来越高，这就要求生 产集成电路的企业不断地提高半导体器件的加工能力。目前，在半导体器件的加工、制造过 程中广泛采用等离子体刻蚀技术。所谓等离子体刻蚀技术指的是，反应气体在射频功率的 激发下产生电离形成含有大量电子、离子、激发态的原子、分子和自由基等活性粒子的等离 子体，这些活性粒子与被刻蚀物体(例如，晶片)的表面发生各种物理和化...
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