技术编号:6930945
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体器件及集成电路制造,尤其涉及一种在集成电路片内 制作集成矩形波导谐振腔的方法。背景技术在现代半导体集成电路中,振荡器作为频率源的核心部件,是最常用的电路之一。 振荡器的最重要参数指标是振荡频率和相位噪声,其中振荡频率主要由谐振腔(通常也可 称为选频回路或谐振器)的谐振频率控制,相位噪声主要由谐振腔的品质因数决定。制作 高品质因数的谐振腔是提升振荡器性能的主要决定因素之一。通常的,在KHz GHz的频段,晶体或者介质能够提供很高的品质因数,在...
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