技术编号:6931031
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体器件及集成电路制备,具体涉及一种采用微机电系统(MEMS)技术和倒装焊工艺设计制作的高Q值立体微型螺线管电感。 背景技术电感是电路的基本元件之一,是无线通信系统必不可少的重要元件,它的 质量直接决定了整个电路的性能。微结构电感设计与制造的研究在当今无线通 信快速发展的背景下有着非常重要的意义。微结构电感设计与制造中一直存在诸如Q值不高、与CMOS电路集成性差等 很多问题,而且目前MEMS电感因其制造过程复杂,造价较高而限制了其广泛应 用。微...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。