技术编号:6931032
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子,特别涉及一种向静电卡盘上放置待加工件的方法。 本发明还涉及一种可以使用上述方法的等离子体处理设备。 背景技术随着微电子产品的普及,等离子体处理设备在微电子的应用越来越广 泛。请参考图1,图1为一种典型的等离子体处理设备的结构示意图。等离子体处理设备1通常包括壳体11,壳体11中具有反应腔室12。反应腔室12 的顶部和底部分别相对应地设有上极板13和静电卡盘14,上极板13与壳体11之间由绝缘 部件15隔离;静电卡盘14的顶部可以支撑待加工...
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