ZnO纳米晶须增强硅基锆钛酸铅压电复合厚膜的制备方法技术资料下载

技术编号:6931046

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本发明涉及一种ZnO纳米晶须增强硅基锆钛酸铅压电复合厚膜的制备方 法,属于电子材料领域。背景技术锆钛酸铅即PZT,其化学式为PbZr,JVx03,属于AB03型钙钛矿结构的二 元系固溶体(PbZr03和PbTi03的固溶体)。在每个钙钛矿元胞中,铅离子(Pb") 占据8个顶点的位置,氧离子(O2》占据6个面心,锆或钛离子(Zr4+/Ti4+) 位于八面体中心位置。锆和钛离子半径分别为0.072 (nm)和0.061 (nm)均小于 八面体的空位,所以在外加...
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