技术编号：6931132
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及晶体加工领域，特别涉及一种顶针升降装置。本发明还涉及一种包括 上述顶针升降装置的等离子体处理设备。背景技术随着我国经济建设的快速发展，市场对于晶体元件的需求量日益增大，由此便带 动了晶体加工行业的迅猛发展。目前，用于加工晶体的工艺腔的内部一般具有静电卡盘，该静电卡盘用于支撑被 加工的晶体，且其下部设有升降装置，该升降装置上插有用于支撑晶圆的顶针。加工晶体 时，机械手将晶圆送入工艺腔内，并使晶圆高于静电卡盘的上表面一定距离；此时，位于上 位的升降装...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。