技术编号:6931201
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光电子,具体是关于一种新型垂直腔面发射半导体激光器的设计与制作。适合于多种波长的(650nm、 850nm、 980nm等)垂直 腔面发射半导体激光器。 背景技术垂直腔面发射半导体激光器(vertical cavity surface emitting lasers , VCSELS)是一种性能优异的半导体激光器。VCSELS具有与光纤耦合 效率高,易形成二维阵列和集成;低阈值,单纵模,调制速度高;可靠性和 性价比高等特点。在高密度面阵,光网络,...
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