技术编号：6932147
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及到一种氧化铟锡即IT0(Indium-Tin Oxide)玻璃基板上形成铬铝铬金 属走线的方法。背景技术铝类金属及其合金材料价格便宜且电阻非常低，适合于作为金属走线，因此在薄 膜场效应晶体管即TFT(Thin Film Transistor)及电容式触摸屏中得到广泛的使用，尤其 是电容式触摸屏近年来成为手机技术热点，具有较好的市场前景。然而，由于纯铝或铝合金本身容易被腐蚀和氧化等问题，常用金属铬或铬合金与 铝或铝合金一起在ITO表面形成铝铬复合金...
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