技术编号：6932202
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体集成电路及其制造，尤其涉及一种SOI MOS晶体管的制作方法。背景技术集成电路尤其是超大规模集成电路，其主要器件是MOS晶体管(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor,金属—氧化物—半导体场效应 晶体管，简称MOSFET)。 MOS晶体管自发明以来，其在性能和功能上取 得了突飞猛进，而这进步的取得很大程度上是通过不断缩小器件的尺寸和 增大芯片面积来实现的。器件尺寸的缩小，使得电路性...
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