技术编号:6932688
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体芯片手动测试探针台。使探针台的承片台上的待测芯片上的每个图形点都能迅速方便地移动到显微镜中心点的范围。背景技术在半导体芯片生产和研制过程中,经常要对制作完成的带有图形的芯片进行检验和测试。半导体芯片外形是圆形,直径分为3"、4"、6"、8"和12",厚度一般在1毫米以内,上表面带有多个印制电路图形的硅片。它的图形比较小,测试过程中要用显微镜来检查外观或对位探针到测试触点。显微镜物镜的视场是直径2-44mm,测试用视场直径在5_10mm ...
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