技术编号:6935298
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种平版印刷投射装置包括——一个用于提供辐射投射光束的辐射系统;——一个用于支撑图案形成装置的支撑结构,所述图案形成装置根据理想的图案产生图案投射光束;——用于支撑基片的基片台;和——用于将图案的光束投射到基片的靶部上的投射系统。程控透镜阵列,这种设备的一个例子是一个具有一粘弹性控制层和一反射表面的矩阵可寻址表面。这种装置后面的理论基础是(例如)反射表面的可寻址区域反射入射光作为衍射光,而非可寻址区域反射入射光作为非衍射光。用一个适当的滤光器,从...
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