技术编号：6935589
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光伏领域，尤其涉及一种薄膜太阳电池组件的刻蚀方法。 背景技术近年来，为了发展可替代能源，薄膜太阳电池技术获得巨大突破。由于薄膜电池漂 亮的外观，将薄膜电池与建筑物结合形成光伏建筑一体化，具有越来越广泛的应用前景。当 薄膜电池作为建筑物幕墙使用时，在注重薄膜太阳电池输出性能的同时，薄膜太阳电池的 透光性也越来越受到重视。目前，薄膜太阳电池组件为实现透光功能多采用化学刻蚀的方 法和激光刻蚀的方法。现有技术的化学刻蚀方法采用胶带做掩膜，即非晶硅膜沉积完...
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