导电性氟聚合物组合物的制作方法技术资料下载

技术编号:6935866

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本发明涉及一种改进的导电性氟聚合物组合物。具体地说,它涉及一种其导电性稳定的导电性(以下简称“导电”)氟聚合物组合物,其中从其得到的模塑物品有光滑和高精确度表面,且甚至当用于硅片保持夹具中或用于半导体制造器件上利用的那种类型的溶剂线中时,该导电性炭黑微粒也不会释放到该器件液体中而沾污该器件;并涉及其制造工艺。背景技术熔体可加工氟聚合物,例如四氟乙烯/全氟(烷基·乙烯醚)(PFA)、四氟乙烯/六氟丙烯(FEP)、四氟乙烯/乙烯(ETFE)等,显示出优异的耐热...
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