技术编号：6936056
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于传送玻璃衬底的盒和机械手及具有该盒和机械手的盒系统，更具体而言，涉及一种用于传送玻璃衬底的盒和机械手及具有该盒和机械手的 盒系统，其不仅能够轻易地将比传统盒系统的衬底更多的衬底装载到标准单元尺寸的盒中从而提高传送衬底的效率，并且在将衬底装载到盒中和从盒中抽出衬底时采 用基于空气悬浮的无接触方式，从而比传统盒系统更有效地减少衬底上的划伤缺 陷。背景技术随着半导体工业中的电子显示器工业的快速发展，近来已出现一种平板显示器 (flatpanel...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。