技术编号：6936201
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及有机EL设备制造装置和其制造方法以及成膜装置和成膜方 法，特别涉及适宜由蒸镀法制造的有机EL设备制造装置和其制造方法。 背景技术作为制造有机EL设备的有利方法有真空蒸镀法。随着显示设备的大型化， 对有机EL设备也有大型化的要求，基板的尺寸要达到1500mmxl850mm。一般的真空蒸镀法为了持续稳定的蒸镀，需要控制以使得从蒸发源保持一 定的材料蒸发速度。使用电阻加热或感应加热等方法加热蒸镀材料进行物理蒸 镀(PVC)的情况下，蒸发速度的稳定需要一...
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