技术编号：6936212
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种太阳能电池的电极制造设备，特别是涉及一种在一玻璃基板上镀 上透明导电材料并蚀刻出预定外型的太阳能电池的电极制造设备。背景技术一般的太阳能电池的电极制造设备包含依序连接的一真空溅镀装置及一蚀刻装 置。其主要功用是在于一玻璃基板上溅镀上一层导电材料之后，送入蚀刻装置中以蚀刻该 导电材料。上述真空溅镀装置中完全是在保持真空状态下进行电极制作的作业，且玻璃基板 一进入真空溅镀装置后，先需经过加温程序，以使所述玻璃基板达到一预定的温度，再予以 溅镀、热...
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