技术编号:6936304
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体电路工艺(semiconductor circuit manufacturingprocesses),且尤其涉及形成三-五族化合物半导体薄膜(III_V compoundsemiconductor films)。背景技术近年来,三-五族化合物半导体(例如氮化镓(GaN)及其相关合金)基于在电子 及光电元件方面的应用前景,已获热烈研究。利用三-五族化合物半导体的潜在光电元 件的特定例子包括蓝光发光二极管(blue light emitting...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。