技术编号:6936351
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。包括针孔底切区域的器件和工艺背景技术近年来,人们对有机薄膜晶体管(0TFT)已经产生了极大的兴趣,该有机薄膜晶体管在诸如RFID标签和液晶显示等应用中很有前景,因为与传统的昂贵的光刻法相比,利用诸如旋涂和喷印等溶液加工来制造OTFT提供了低成本的制造选择。用于0TFT的理想栅极电介质应该具有非常低的栅漏电流(针孔释放(pinhole free))以及高容量。为获得高器件成品率,通常使用相当大的电介质厚度(例如〉500nm)来减少针孔密度,从而将栅漏电流减少...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。