技术编号:6937159
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种随机存取存储器(Random Access Memory,RAM)的制造方法,且特别是有关于一种静态随机存取存储器(StaticRandom Access Memory,SRAM)的制造方法。附图说明图1A至图1D是公知一种静态随机存储器的制造流程剖面示意图。请参照图1A,定义一已形成有栅氧化层102与第一多晶硅层104的基底100上,以形成一埋入式接触窗开口106,暴露出基底100。然后,请参照图1B,于基底100上形成一第二多晶硅层1...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。