技术编号:6937259
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明通常涉及集成电路器件,特别涉及一种集成电路保护器件。 背景技术天线二极管是用于半导体器件中保护其免受静电放电事件,如等离子导致的损伤 的二极管。将天线二极管放置在集成电路中,使其为器件制造过程中产生的电荷,如工艺过 程(例如,蚀刻)中使用等离子产生的电荷,提供放电路径。天线二极管一般被连接到导电 线路,导电线路可被连接到可能易受电荷产生的危害影响的电路的有源器件的栅极。虽然 天线二极管可有效防止等离子导致损伤(PID)和/或天线效应,但是其他形式的电...
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