具有改进终端的igbt的制作方法技术资料下载

技术编号:6937887

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本发明涉及一种绝缘栅双极晶体管(IGBT),尤其涉及一种具有改进终端的IGBT。 背景技术IGBT (绝缘栅双极晶体管)是在一块硅芯片上的许多小器件单元(称为元胞)并 联而成的,各元胞在表面有基本相同的电位,因此元胞之间并不存在击穿的问题。但是在元 胞的最外圈和衬底之间存在高电压差,是器件击穿最先发生的区域,所以,在芯片中元胞的 最外圈的外面要增加终端进行保护,以降低这些区域的表面峰值电场,提高击穿电压,这就 是所谓的终端保护。传统的IGBT结构的正面结构...
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