技术编号:6938073
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电容器,具体涉及一种柱状电容器和一种堆叠型同轴柱状电容器。本发明还涉及上述电容器的制造方法。背景技术在电路设计中所应用的电容通常为平板电容,平板电容是在两层金属之间夹一绝缘介质而成,为了提高平板电容的电容容量通常需要增加金属极板的面积或者减小介质层的厚度,而这些措施在实际实现时会有各种限制,如增大面积会增加整个电路的面积,而介质层的厚度则受到工艺水平的限制,所以平板电容的电容量通常为lfF/um2。由上述可见,在电子和集成电路制造中,需要有另...
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