技术编号:6938220
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体中的制绒设备,具体地说,涉及的是一种全 自动化多晶槽式酸处理设备。背景技术制绒是对硅片表面进行各向同性腐蚀,形成微沟,降低硅片表面的反射率, 促使太阳在石圭片表面进行多级反射,提升光的利用率。在太阳能晶硅电池的制备 工艺中,制绒工艺是关系到太阳能电池表面的光吸收的重要部分,也是提高太阳 能电池转换效率的重要途径之一 。在多晶制绒工艺中,酸制绒处理设备是很重要的 一部份,现有多晶酸制绒 处理设备是由处理槽(含内、外槽)和循环储存罐(处理液...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。