技术编号:6939415
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本揭示案涉及衬底固持单元和具有其的衬底组装设备,且更明确地说,涉及在从 粘接卡盘去除衬底时使衬底翘曲(warping)和损坏最小化的衬底固持单元和具有其的衬 底组装设备。背景技术在过去将阴极射线管(CRT,Cathode Ray Tube)用作显示装置。然而,CRT涉及具 有大体积和相当大重量的缺点。因此,平面显示面板的使用近来急剧增加,例如液晶显示器 (LCD,Liquid Crystal Display)、等离子显示面板(PDP,Plasma Disp...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。