用于微电子系统级封装的堆叠芯片悬臂柔性层键合的方法技术资料下载

技术编号:6939550

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本发明涉及一种。背景技术微电子封装对集成电路(IC)产品的体积、性能、可靠性质量、成本等都有重要影 响,IC成本的40X是用于封装的,而IC失效率中超过25X的失效因素源自封装,影响着电 子产品整机高性能微小型化发展的大趋势。随着IC向系统集成方向发展,近年来采用系统 级封装(SiP)技术思路解决IC系统集成快速进入市场,系统级封装(SiP)是在原来置放一 片裸晶的标准封装"内部"堆叠多片不同功能和不同工艺的裸晶在一起,借助金属线键合的 互连,构成一个IC...
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