技术编号:6939662
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种集成电路及其制造工艺,尤其涉及一种。 背景技术变容管广泛应用于射频电路设计,例如可调谐压控振荡器(voltagecontrolled oscillator)。通常通过品质因子来评价变容管的质量,品质因子正比于变容管的电容与其 等效串联电阻的比值,所述等效串联电阻由制造变容管的材料产生。为了得到较高的品质 因子,需要降低变容管的等效串联电阻。另外,寄生电容会减小变容器的调谐范围,为了得 到较大的调谐范围,需要减小寄生电容。对于变容管设计,如何减...
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