技术编号：6939772
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电感结构，具体涉及一种螺旋片状电感结构。本发明还涉及一种 电感结构的制备方法。背景技术射频片上电感是射频集成电路的重要元件之一，广泛应用于压控振荡器，低噪声 放大器等射频电路模块中。在一般的逻辑工艺和射频工艺中的电感往往是用顶层金属制作 的平面电感，层间介质寄生电容以及衬底的涡流效应对普通电感的高频性能有不容忽视的 影响，而且多圈的平面电感在内圈宽导线上存在邻近效应，也降低了电感的品质因数。发明内容本发明所要解决的技术问题是提供一种螺旋片状电...
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