技术编号:6940054
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,该发明通过磁控溅射沉积氧 化锌透明导电薄膜,热蒸发或者电子束蒸发沉积金属电极制备大功率LED芯片。氧化锌透 明导电层图形是通过湿法刻蚀的方法实现的,而外延层的刻蚀是用ICP干法刻蚀完成的。 这种工艺方法简便,易操作,成本更低更省时。氧化锌电极提高LED光提取效率,可靠性更 高、更好。背景技术发光二极管(LED)与其他一些光源相比,具有寿命长、可靠性高、体积小、功耗低、响应速度快、易于调制和集成等优点,已被广泛应用于信息显示、图象处理、办公自...
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